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英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測(cè)應(yīng)用

更新時(shí)間:2025-06-23      點(diǎn)擊次數(shù):31

 英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測(cè)應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,超純氣體的水分含量是影響芯片良率與設(shè)備壽命的關(guān)鍵因素。英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀憑借其高精度、快速響應(yīng)及本質(zhì)安全特性,成為半導(dǎo)體工廠超純氣體水分檢測(cè)的核心工具。

半導(dǎo)體制造對(duì)水分檢測(cè)的嚴(yán)苛要求

半導(dǎo)體工藝中,氮?dú)?、氬氣、氫氣等超純氣體的水分含量需控制在ppb級(jí)(如<10ppb)。例如,在化學(xué)氣相沉積(CVD)或蝕刻工藝中,氣體中的微量水分可能導(dǎo)致:英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測(cè)應(yīng)用


薄膜缺陷:水分與前驅(qū)體反應(yīng)生成顆粒物,引發(fā)晶圓表面污染;

設(shè)備腐蝕:水分加速金屬部件氧化,縮短設(shè)備維護(hù)周期;

工藝波動(dòng):水分含量變化影響刻蝕速率或薄膜厚度均勻性。
因此,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)超純氣體露點(diǎn)成為半導(dǎo)體產(chǎn)線質(zhì)量控制的必要環(huán)節(jié)。

SADP便攜式露點(diǎn)儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

高精度與寬量程
SADP系列露點(diǎn)儀采用氧化鋁電容傳感器,測(cè)量范圍覆蓋-100℃至+20℃露點(diǎn),對(duì)應(yīng)水分濃度從ppb級(jí)(如-80℃露點(diǎn)對(duì)應(yīng)約0.1ppb)到ppm級(jí)。SADP-TR版本可擴(kuò)展至0-10ppm低濃度測(cè)量,滿足不同工藝階段的需求。
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快速響應(yīng)與動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)
其響應(yīng)時(shí)間≤1秒,可實(shí)時(shí)捕捉氣體露點(diǎn)波動(dòng)。例如,在氮?dú)饧兓到y(tǒng)切換或設(shè)備啟停時(shí),SADP能快速響應(yīng)露點(diǎn)變化,避免因滯后導(dǎo)致的數(shù)據(jù)失真。

本質(zhì)安全與便攜性
SADP通過(guò)ATEX和IECEx認(rèn)證,適用于Class 1, Division 1等危險(xiǎn)區(qū)域。其輕便設(shè)計(jì)(如配備肩帶的厚皮革套)便于在無(wú)塵室內(nèi)移動(dòng)檢測(cè),減少對(duì)產(chǎn)線的干擾。

數(shù)據(jù)可追溯與易用性
儀器配備大字符LCD顯示器,可同時(shí)顯示露點(diǎn)(℃/℉)和PPMv單位,并支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出。隨機(jī)附帶的校準(zhǔn)證書(shū)可追溯至國(guó)家和國(guó)際濕度標(biāo)準(zhǔn),確保測(cè)量合規(guī)性。

半導(dǎo)體制造中的典型應(yīng)用場(chǎng)景

氣體供應(yīng)系統(tǒng)驗(yàn)證
在超純氣體鋼瓶或管道投用前,使用SADP檢測(cè)水分殘留。例如,對(duì)高純氬氣進(jìn)行-90℃露點(diǎn)測(cè)試,確保其水分含量<0.5ppb。
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工藝設(shè)備在線監(jiān)測(cè)
將SADP與產(chǎn)線氣體管路連接,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)CVD或ALD設(shè)備的進(jìn)氣露點(diǎn)。例如,在硅烷(SiH?)氣體輸送過(guò)程中,若露點(diǎn)突然上升至-60℃,可能提示純化器失效,需立即停機(jī)檢修。

故障排查與預(yù)防性維護(hù)
當(dāng)產(chǎn)線出現(xiàn)良率下降時(shí),使用SADP快速定位氣體水分異常。通過(guò)檢測(cè)蝕刻氣體中的水分波動(dòng),發(fā)現(xiàn)某批次氮?dú)庖蚣兓髟偕?/span>導(dǎo)致露點(diǎn)超標(biāo),及時(shí)更換濾芯避免批量報(bào)廢。

SADP與其他檢測(cè)技術(shù)的對(duì)比

相較于傳統(tǒng)冷鏡式露點(diǎn)儀,SADP的優(yōu)勢(shì)在于:

無(wú)需液氮制冷:冷鏡儀需依賴液氮維持低溫,而SADP采用氧化鋁傳感器,無(wú)需外部冷源,操作更安全;

抗污染能力強(qiáng):半導(dǎo)體氣體中可能含微量腐蝕性雜質(zhì),SADP的傳感器表面涂層可減少污染影響,延長(zhǎng)校準(zhǔn)周期;英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測(cè)應(yīng)用

  • 成本效益高:?jiǎn)闻_(tái)SADP價(jià)格約1-5萬(wàn)元,遠(yuǎn)低于高精度冷鏡儀(通常>10萬(wàn)元),且維護(hù)成本更低。

英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀以其高精度、快速響應(yīng)及本質(zhì)安全特性,契合半導(dǎo)體制造對(duì)超純氣體水分檢測(cè)的需求。無(wú)論是氣體供應(yīng)驗(yàn)證、工藝設(shè)備監(jiān)測(cè)還是故障排查,SADP均能提供可靠數(shù)據(jù)支持,助力半導(dǎo)體工廠提升良率、降低維護(hù)成本。隨著芯片制程向3nm及以下推進(jìn),SADP的技術(shù)價(jià)值將進(jìn)一步凸顯。

                            

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